研究設備 Equipment

熱場發射掃描式電子顯微鏡
Thermal Field-Emission Scanning Electron Microscopy

利用高能量電子束撞擊樣品並接收其產生訊號，以進行高解析度顯微觀察及快速元素組成分析，可廣泛應用於地質、生物、醫學、動物、材料、物理、化學、機械、冶金、電機、半導體等領域。相關詳細說明及預約方式請至「掃描式電子顯微鏡實驗室」官網查詢。

  • 廠牌/型號：JEOL JSM-7000F
  • 電子槍 Electron gun：Schottky 熱場發射 thermal emission
  • 加速電壓 Accelerating Voltage：0.5 – 30 kV
  • 探測電流 Probe Current：10-12~2×10-7 A
  • 真空模式 Vacuum mode：高真空模式 High vacuum (< 2.8×10-4 Pa)
  • 影像解析 Image resolution：1.2 nm(~650,000 x)@ 30 kV；3.0 nm@1kV
  • 載台規格 Stage optics：X= 70 mm / Y= 50 mm
  • 傾斜角度 Tilting ：-5°~70°
  • 旋轉角度 Rotation：連續360°

濺鍍機 Sputter

本儀器可提供蒸鍍(鉑，白金)與濺鍍(碳)兩種功能，詳細規格如下：

  • 鉑/白金 Platinum (≒0.2 atm)
  • 碳 Carbon (0.04~0.08 atm)

岩石三軸設備（Triaxial Rock Testing System）

本設備為自動伺服（servo-controlled）裝置，藉由單壓、三軸等靜態試驗（static test），可模擬岩石在上部地殼的受壓環境，並取得岩石強度（strength）與彈性模數（elastic moduli）等力學參數。
廠牌/型號：GCTS RTX-1000
鉛直荷重：1000 kN
勁度：750 kN/mm
樣品直徑：1英吋或2英吋
三軸室最大圍壓：70 MPa
鉛直加載速率：0.02-350 mm/min

金剛石線切割機

採用自動推進的方式，提供各式材料進行精密切割，並搭配3R無線顯微鏡以提高切割精密度，最薄厚度可達0.08 mm。

  • 廠牌/型號：STX-202A
  • 切割速度：2-260 rpm
  • 切割厚度：0.08-50 mm
  • 樣品最大尺寸：Φ 50 × 50 mm